2018年2月9日，合肥晶合集成電路有限公司組織召開了《合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項目（階段性驗收）竣工環境保護驗收會》。參加會議的有安徽海峰分析測試科技有限公司（驗收報告編制單位）、信息產業電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司（環評報告編制單位）、蘇州崇越工程有限公司(廢水處理設計及施工單位)、江西漢唐集成系統有限公司(廢氣處理設計及施工單位)等單位的代表及專家共20位組成驗收工作組。與會代表查看了項目現場及周邊環境，并根據合肥晶合集成電路有限公司竣工環境保護驗收報告及《建設項目竣工環境保護驗收暫行辦法》，嚴格依照國家有關法律法規、環評及批復等要求對本項目進行階段性驗收，提出意見如下：

　　一、工程建設基本情況

　　1、建設地點、規模、主要建設內容

　　合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項目（階段性驗收）位于合肥新站綜合開發實驗區站北新區綜合保稅區，項目占地211105.14m2，總投資128.10億元，環保投資2.492億元。公司主要從事12英寸面板驅動類IC（采用90nm、110nm及150nm技術）生產，項目產品主要用于電腦、平板電視、手機、攝像機等產品面板顯示器部件中。

　　2、建設過程及環保審批情況

　　合肥晶合集成電路有限公司“12吋晶圓制造基地項目”經合肥新站綜合開發試驗區經貿發展局合綜試經[2015]196號文備案，2016年3月信息產業電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司編制完成了《合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項目環境影響報告書》，并于2016年3月14日獲得合肥市環境保護局“關于合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項目環境影響報告書的審批意見”（環建審[2016]18號）。

　　3、驗收工況及驗收范圍

　　本項目設計產量為4萬片/月（48萬片/年），實際產量為3000片/月（3.6萬片/年），達不到設計產量，驗收僅對目前的實際產量做階段性驗收。驗收監測期間，實際產能82片/天，達到驗收期間最大負荷101片/天（3000片/月）的78.8%，驗收期間實際產能滿足75%驗收工況要求。

　　大宗氣體供應站和110KV變電站不在本次驗收范圍。

　　二、環境保護設施建設情況

　　1、廢水

　　本項目廢水主要是生產廢水及生活污水。

　　生產廢水主要經過酸堿廢水處理設施、含氨廢水處理設施、研磨廢水處理設施、有機廢水處理設施、含氟廢水處理設施處理后排入中和調節槽處理后排入廠區廢水總排口；生活污水經隔油池、化糞池處理后排入廠區廢水總排口，排入廠區廢水總排口，進入市政污水管網，排入陶沖污水處理廠進一步深度處理。

　　2、廢氣

　　本項目廢氣主要是酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣處理系統廢氣、污水處理站惡臭廢氣、非含砷工藝尾氣、含砷工藝尾氣、鍋爐煙氣、含氨廢水處理系統廢氣、化學品供應間廢氣等。

　　酸性廢氣采用6套堿液噴淋吸收塔（5用1備）處理后經44米排氣筒高空排放；堿性廢氣經3套酸液噴淋吸收塔（2用1備）處理后經44米排氣筒高空排放；非含砷工藝尾氣經32套（5用27備）POU凈化裝置處理后并入酸性廢氣處理系統進行處理，并經酸性廢氣排氣筒進行排放；含砷工藝尾氣經24套（20用4備）POU凈 化裝置+1套含砷吸附裝置處理后經39米高排氣筒高空排放；鍋爐煙氣經35米高排氣筒高空排放；有機廢氣經3套（2備1用）沸石濃縮轉輪焚燒處理后經4根（3備1用）44米排氣筒高空排放；含氨廢水處理系統廢氣經兩級酸液吸收噴淋后經19米高排氣筒高空排放；化學品供應間廢氣經活性炭吸附裝置處理后經15米高排氣筒高空排放；污水處理站惡臭廢氣經水噴淋塔洗滌后經19m高排氣筒高空排放。

　　3、噪聲

　　本項目高噪聲設備通過基礎減振、消聲、隔聲、合理布局等措施控制噪聲排放。

　　4、固體廢物

　　本項目固體廢物主要危險廢物和一般固體廢棄物。

　　危險廢物主要是硫酸廢液、磷酸廢液、氫氟酸廢液、過氧化氫、氨水、顯影液、異丙醇、廢光阻液、廢去光阻液、有機沾染物、堿性沾染物、酸性沾染物、特殊沾染物、化學品空桶/瓶、研磨系統污泥、氟化鈣污泥、廢化學品容器；硫酸廢液、磷酸廢液、廢去光阻液、過氧化氫、氨水、顯

　　影液、異丙醇、廢光阻液交由合肥茂騰環保科技有限公司清運并處理；研磨系統污泥、氟化鈣污泥、廢化學品容器交由安徽浩悅環境科技有限責任公司清運并處置；氫氟酸廢液、有機沾染物、堿性沾染物、酸性沾染物、特殊沾染物、化學品空桶/瓶正在找有資質單位處理，企業給出承諾函，在3個月時間內找到有資質單位處理；一般固廢為硫酸銨廢液、廢芯片、廢靶材、廢包裝材料、廢玻璃、廢金屬、生活垃圾，硫酸銨廢液、廢芯片、廢靶材、廢包裝材料、廢玻璃、廢金屬，交由安徽智界環保科技有限公司、合肥凱利物資回收有限公司、合肥綠之源再生資源利用有限公司、安徽玖勝再生資源有限公司處理；生活垃圾由環衛部門統一處理。

　　三、環境保護設施調試效果

　　1、污染物達標排放情況

　　(1)廢水

　　在竣工驗收監測期間，該項目污水總排口排放的廢水中各監測因子范圍值/濃度均值均滿足《污水綜合排放標準》（GB8978-1996）中三級標準及“陶沖污水處理廠接管標準”。

　　(2)廢氣

　　無組織廢氣監測結果：在竣工驗收監測期間，無組織廢氣中顆粒物、SO2、NOX、氟化物、硫酸霧、氯化氫、氯氣、苯、甲苯、二甲苯、非甲烷總烴濃度滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）表2中無組織排放監控點濃度限要求；氨氣、硫化氫、臭氣濃度滿足《惡臭污染物排放標準》（GB14554-1993）表1中惡臭污染物廠界標準值要求。

　　有組織廢氣監測結果：在竣工驗收監測期間，該項目堿液噴淋塔排放的有組織廢氣中顆粒物、氟化物、硫酸霧、氯化氫、氯氣、NOX、磷酸霧最大排放濃度值、最大排放速率均小于標準限值，滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）表2中限值要求；氨氣最大排放速率小于標準限值，滿足《惡臭污染物排放標準》（GB14554-1993）表2中排放量限值要求。該項目酸液噴淋塔排放的有組織廢氣中氨氣最大排放速率小于標準限值，滿足《惡臭污染物排放標準》（GB14554-1993）表2中排放量限值要求。該項目沸石濃縮輪轉焚燒排放的有組織廢氣中SO2、NOX、顆粒物最大排放濃度值、最大排放速率均小于標準限值，滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）表2中最高允許排放速率、最高允許排放濃度的限值要求；苯、甲苯、二甲苯、非甲烷總烴最大排放濃度均小于標準限值，滿足《北京市地方標準 大氣污染物綜合排放標準》（DB11/501-2007）表2中Ⅱ時段濃度限值要求。該項目鍋爐廢氣中SO2、NOX、煙塵最大排放濃度值小于標準限值，滿足《鍋爐大氣污染物排放標準》（GB13271-2014）表2中新建鍋爐大氣污染物排放濃度限值要求；該項目氨水處理系統排放的有組織廢氣中氨氣最大排放速率小于標準限值，滿足《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）表2中二級新擴改建排放標準限值要求；該項目中化學品庫排放的有組織廢氣中非甲烷總烴最大濃度值、最大排放速率均小于標準限值，滿足《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)中表2的二級標準限值要求；項目中污水處理站惡臭廢氣中氨氣、硫化氫、臭氣濃度最大濃度值滿足《《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）表2中二級新擴改建排放標準限值要求。

　　(3)噪聲

　　在竣工驗收監測期間，項目區南廠界、西廠界晝間、夜間、北廠界晝間噪聲監測結果均在標準限值內，滿足《工業企業廠界環境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中的3類區標準限值要求；北廠界夜間噪聲監測結果超標，項目區北側為空地，但因周圍無居民區等敏感點，夜間噪聲對周圍環境影響較小。

　　(4)固廢

　　項目危險廢物硫酸廢液、磷酸廢液、廢去光阻液、過氧化氫、氨水、顯影液、異丙醇、廢光阻液交由合肥茂騰環保科技有限公司清運并處理；研磨系統污泥、氟化鈣污泥、廢化學品容器交由安徽浩悅環境科技有限責任公司清運并處置；氫氟酸廢液、有機沾染物、堿性沾染物、酸性沾染物、特殊沾染物、化學品空桶/瓶正在找有資質單位處理，企業給出承諾函，在3個月內找到有資質單位處理；一般固廢及生活垃圾均妥善處置。

　　四、驗收結論

　　項目執行了環境影響評價制度，環境保護審查、審批手續完備，按照環評及批復的要求落實了污染防治措施，總體符合驗收條件，驗收工作組原則同意通過竣工環境保護驗收。

　　五、要求及建議

　　1、按照《建設項目竣工環境保護驗收暫行辦法》的公告(國環規環評[2017]4號文)要求，落實環保主管部門對噪聲、固廢等污染防治設施的驗收要求。

　　2、核實工程內容，明確驗收范圍，細化項目變更情況，核實廢氣總量，明確項目環保措施與環評階段差異性分析，完善廢氣、廢水處理工藝、工藝參數及處理效率，補充水中砷的監測數據，核實柴油發電系統設置及排氣筒位置，規范排氣筒設置，細化油煙廢氣處置。規范環境管理，規范地下水觀測井設置，明確廢水排放方式，規范附圖附表，補充監測布點圖，明確排污口位置。

　　3、企業進一步加強環境管理，嚴格落實營運期環境監測計劃，確保污染治理設施正常運轉，污染物穩定達標排放；自覺接受各級環保部門的日常環境監管。

　　公示期限自本日起二十個工作日

　　聯系人：溫工

　　聯系方式：13083087060

　　合肥晶合集成電路有限公司

　　2018年3月13日

　　附件：合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項目（階段性驗收）竣工環境保護驗收公示
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